優質基材

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更新時間：2026-02-08
產品介紹：腔衰蕩時間光譜儀或EUV鏡的特殊激光應用的優質基材的特點是：
Ø準確的幾何形狀：有關直徑，厚度，折痕或曲率半徑等幾何特性的公差，請參見我們目錄
Ø表面形狀公差
Ø拋光表面上的缺陷數量
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產品介紹

品牌	其他品牌	價格區間	面議
組件類別	光學元件	應用領域	醫療衛生,環保,化工,電子/電池,綜合

優質基材

腔衰蕩時間光譜儀或EUV鏡的特殊激光應用的優質基材的特點是：

Ø準確的幾何形狀：有關直徑，厚度，折痕或曲率半徑等幾何特性的公差，請參見我們目錄的第12頁

Ø表面粗糙度

Ø表面形狀公差

Ø拋光表面上的缺陷數量

LAYERTEC針對所有這些參數優化了拋光程序。在下文中，我們就會展示使用熔融二氧化硅和氟化鈣可獲得的出色結果。

規格

表面粗糙度

ØRMS-熔融石英和氟化鈣的平面基板的粗糙度<1.5Å

Ø在光滑彎曲的球形熔融石英表面上得到相似的結果（取決于直徑和曲率半徑的比率）

Ø即使在紫外線范圍內，基材的散射損耗也非常低：

ØTS = 2 x 10 – 5 at 248nm (total backscattering)

ØTS = 5.6 x 10 – 4 (total backscattering) and 7.5 x 10 – 4 (forward scattering) at 193 nm

Ø即使在DUV / VUV波長范圍內也適用于低損耗光學元件

高質量拋光熔融石英基板的功率譜密度（PSD）曲線（在FhG IOF Jena上執行的測量）

高質量拋光CaF2基板（在FhG IOF Jena執行）的3D AFM測量，均方根粗糙度0.12nm

表面形狀公差

表面質量

Material	ISO 10110 (∅25mm)	Approximately equivalent to MIL-O-13830
Fused Silica	5/1x 0.010 L1x 0.0005	Scratch - Dig 5 - 1
CaF2	5/1x 0.016 L1x 0.0010	Scratch - Dig 10 - 2